000 00458nam a2200169Ia 4500
008 230718s9999 xx 000 0 und d
041 _aeng
082 _a621.381
_bBEE
100 _aBeeby S.
_9152471
245 _aMems Mechanical Sensors
260 _c2004
_bArtech
300 _a269
_dRef 804 E (21990)
365 _cRs.
_b5524.00
500 _aR
700 _aBeeby S., Ensell G., Kraft M. & White N.
_9188762
906 _d4603/25.07.2005
_cETC
_b1104.8
999 _c310783
_d310783